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上海极科有限公司
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圆筒式等离子处理系统
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感应耦合等离子处理系统
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等离子增强化学气相沉积蚀刻系统
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感应耦合等离子刻蚀及沉积系统
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反应离子刻蚀及等离子体沉积系统
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